如何保证百级芯片净化车间空气微粒控制标准？合洁电子洁净工程

　　百级半导体洁净厂房保证空气微粒控制标准的关键在于采取一系列综合措施，以确保车间内的空气质量满足严格的洁净度要求。以下是一些具体的做法和规定，具体随合洁科技电子洁净工程公司一起来了解下吧!

　　1、尘埃粒子控制标准：

　　百级净化车间粒径大于等于0.1微米的最大微粒数不能大于100个。

　　0.5微米的最大容许粒子浓度小于3520(pc/m³)，5微米的最大容许粒子浓度小于293(pc/m³)。

　　2、空气洁净设备：

　　在无尘车间中配备高效的空气洁净设备，如高效过滤器、空气净化器和风机过滤机组等。

　　高效过滤器能够过滤空气中的微粒和有害气体，确保车间的空气质量。

　　空气净化器则可以去除空气中的细菌、病毒等微生物，防止交叉污染。

　　3、施工要求：

　　建筑材料选择：选择表面光滑、不易积尘、易于清洁的材料，如不锈钢、彩钢板、玻璃等。

　　施工流程控制：严格控制施工流程，确保无尘车间的洁净度。包括全面清洁施工现场、按规定顺序施工、避免交叉作业和灰尘产生，并在施工完成后进行全面的清洁和消毒处理。

　　4、人员出入管理：

　　人员出入是导致无尘车间洁净度下降的主要原因之一。因此，对进出无尘车间的人员要进行严格的管理。

　　进入百级净化车间的工作人员必须穿着无尘服与无尘鞋，并遵循规定的进入顺序，如佩戴无尘帽、口罩、穿上无尘衣等。

　　5、设计原理与运行：

　　采用垂直单向流的气流形式，通过初效过滤器过滤掉空气中的大颗粒粉尘粒子，再通过高效过滤器进行二次过滤，以达到洁净要求。

　　百级无尘车间层流风速大于0.35 m/s，换气次数需在200次/h以上，以保证空气的充分流通和洁净。

　　保持正压，相邻房间压力梯度保证在10pa左右，以起到保护外部环境的作用。

　　6、温湿度控制：

　　温度控制在22℃±2，湿度控制在55%±5，以维持稳定的生产环境。

　　通过实施以上措施，百级半导体洁净厂房可以确保空气微粒控制标准得到满足，从而保证半导体生产过程的洁净度和产品质量。