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合洁科技电子洁净工程:百级晶圆洁净厂房空调设计施工方案

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合洁科技合洁科技 2024-12-04 14:50:02 1997
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  百级电子净化车间空调设计方案需要综合考虑车间的洁净度要求、温湿度控制、换气次数、新风量以及节能降耗等多个方面。以下是合洁科技电子洁净工程公司一个详细的设计方案:

  一、设计原则

  1、确保洁净度:百级电子净化车间要求空气洁净度非常高,因此空调系统设计必须满足这一要求。

  2、温湿度控制:电子产品生产制造对温湿度敏感,需严格控制空气参数。

  3、高效节能:在满足洁净度和温湿度要求的前提下,尽可能降低能耗。

  二、换气次数与送风量

  1、换气次数:百级洁净车间的换气次数通常为400次/小时,以确保车间内空气的高洁净度。

  2、送风量:根据换气次数和车间体积计算得出送风量,同时需考虑新风量和回风量的平衡。

  三、空调系统配置

  1、新风处理机组(PAHU):负责处理室外新风,经过初、中效过滤后送入空气处理机组(AHU)。

  2、空气处理机组(AHU):将新风与回风混合,经过冷却、加热、加湿、过滤等处理后送入车间。

  3、高效过滤器单元(FFU):布置在车间天花板上,将处理后的空气进一步过滤并送入车间,确保空气洁净度。

  四、温湿度控制

  1、冷却与加热:通过冷却盘管和加热盘管调节空气温度。

  2、加湿与除湿:根据车间内湿度要求,通过加湿器或除湿机调节空气湿度。

  五、新风量计算

  1、人员新风量:满足工作人员卫生要求的新风量,通常不小于40m³/h·人。

  2、工艺排风补偿新风量:为了平衡工艺排风量,需要补充相应的新风量。

  3、维持正压所需新风量:为防止室外空气渗入车间,需要补充新风以维持车间正压。

  六、节能措施

  1、变频控制:新风机组和空气处理机组的风机马达采用变频控制,根据车间内空气压力和温湿度变化自动调节风量,实现节能降耗。

  2、优化新风处理:采用新风集中处理方式,减少循环风的输送能耗,降低空调箱的风机压头。

  3、温湿度独立控制:使温度和湿度控制具有独立性及可操作性,提高系统控制灵活性。

  七、注意事项

  1、过滤器选择与更换:高效过滤器需定期检查和更换,以确保空气洁净度。

  2、系统维护:定期对空调系统进行清洁和维护,确保系统正常运行。

  3、安全监测:安装空气质量监测设备,实时监测车间内空气质量,确保符合洁净度要求。

  综上所述,百级电子净化车间空调设计方案需要综合考虑多个方面,以确保车间内空气的高洁净度和适宜的温湿度环境,同时实现高效节能。



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