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国产光学技术发力!上海光机所攻克弱畸变波前测量难题

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仪器b2b仪器b2b 2026-01-12 13:31:50 946
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  在高端光学制造领域,"波前测量"堪称衡量精度的"火眼金睛"——小到光刻机镜片的校准,大到高功率激光装置的光路监测,都离不开它的精准把控。近日,中国科学院上海光学精密机械研究所团队的一项新突破,让这双"眼睛"看得更清、更准,成功解决了行业内困扰已久的弱畸变波前高精度测量难题。

  CO2色谱仪.jpg

  可能有朋友会问,什么是"弱畸变波前测量"?简单说,波前是光线传播的轨迹平面,当它发生微弱变形时,会产生极其细微的干涉条纹。这种条纹变化实在太小,常规技术很难捕捉解析,就像在嘈杂环境里听轻声说话,信噪比极低,一直是制约高端光学检测精度的瓶颈。

  而干涉术作为波前测量的核心技术,直接支撑着高端光学仪器研发、精密制造等关键领域。其中,自干涉的共光路结构因为抗干扰能力强、稳定性好,是高精度测量的优选方案,但面对弱畸变波前时,也难免"力不从心"。

  针对这个痛点,上海光机所团队依托前期在光子筛领域的积累,创新提出了微离焦级联光子筛技术方案。核心思路很巧妙:通过特殊结构为干涉信号引入球面波载频,把原本微弱到几乎看不见的干涉条纹"放大增强",成功突破了光电探测器的捕捉阈值。后续再通过成熟的解调技术,就能精准复原出待测的波前形态。

  这项技术的可靠性已经过严格验证:两次独立实验的结果,与行业标杆ZYGO测量系统的数据高度一致,证明它具备稳定的高精度测量能力。更值得关注的是,该研究得到了国家自然科学基金、中科院战略性先导科技专项等项目支持,为后续产业化落地打下了坚实基础。

  对行业而言,这项突破的价值不止于技术创新。在工业端,它能适配高功率激光装置光路监测、光刻机镜片校准等高端需求;在实验室里,大口径光学器件研发测试、精密光学系统调试也能用得上。其抗干扰强、精度高的特点,正好能弥补现有技术的不足,为国内高端光学检测设备的国产化升级添砖加瓦。

  从实验室到产业化,这项技术还有哪些落地难点?你觉得它会最先在哪个领域实现规模化应用?欢迎在评论区交流讨论~

  

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