华卓精科二次闯关科创板IPO：半导体设备部件细分领域实现国产化突破，北方华创、中微公司供应商

华卓精科申报科创板上市，6月30日获受理，7月12日获问询。公司计划IPO募资35亿元，保荐机构是招商证券。这是公司第二次排队科创板IPO，前次是2021年9月成功过会，不料2024年6月撤材料终止排队，保荐机构是东兴证券。

华卓精科是一家半导体设备及零部件生产商，实现了激光退火设备、晶圆键合设备、精密运动系统及静电卡盘等核心产品的国产化突破，主要产品及技术应用于40/28/14nm及以下制程集成电路制造产线及先进封装产线，客户包括中科飞测、北方华创、中微公司、燕东微电子等。

华卓精科2023年至2025年营收从3.2亿元增至6.57亿元，年均复合增长率达43.23%。据招股书显示，公司四大业务在国内市占率近年来显著增长。

半导体设备部件细分领域实现国产化突破，北方华创、中微公司供应商

华卓精科主要从事半导体专用设备整机及零部件的研发、生产和销售。公司以超精密测控技术为核心技术平台开展技术研发与产业化，是业内少数兼具超精密测控核心技术与多类关键先进制程半导体设备及零部件产业化能力的厂商。

资料显示，超精密测控技术是半导体产业的核心底层技术之一，贯穿芯片设计、晶圆制造、封测全流程，其精度水平直接决定芯片制程工艺、产品良率与性能表现，是实现先进制程突破、保障芯片制造稳定性的关键支撑。

华卓精科依托在超精密测控技术领域的长期积累，逐步实现激光退火设备、晶圆键合设备、精密运动系统及静电卡盘等核心产品的国产化突破，并在部分细分领域形成批量交付能力和稳定市场应用基础。

据招股书披露，华卓精科主要产品及技术已广泛应用于40/28/14nm及以下制程集成电路制造产线及先进封装产线，为晶圆制程中热处理、键合、量检测、刻蚀、薄膜沉积、离子注入等多个关键工艺环节提供设备与零部件技术解决方案。

业绩方面，华卓精科2023年至2025年营收分别为3.2亿元、6.27亿元和6.57亿元，年均复合增长率达43.23%；归母净利润分别为-7268万元、-6562万元、-9533万元；前五大客户包括中科飞测、北方华创、武汉新芯等。另外，华卓精科客户还包括燕东微电子、比亚迪半导体等晶圆厂，以及中微公司等。

四大业务国内市占率显著增长

华卓精科在营收保持快速增长的同时，四大业务国内市占率也显著增长，大力推动了国产化进程。

华卓精科四大业务是精密运动系统、激光退火设备、静电卡盘、晶圆键合设备，占主营业务收入比例分别为41.93%、27.13%、24.78%、5.94%。

在精密运动系统行业，根据QYResearch等机构数据及公司相关业务收入规模测算，华卓精科国内市占率由2024年的约3.36%增长至2025年的约7.94%。公司精密运动系统产品客户包括中科飞测、维普半导体等，关键性能对标国际主流产品。

在激光退火设备行业，华卓精科国内市占率由2023年的约6.46%增长至2025年的约7.05%。公司实现高端激光退火设备的国产化突破，已进入我国头部晶圆制造企业产线实现量产应用，关键性能指标对标国际主流产品。

在静电卡盘行业，华卓精科国内市占率由2023年的约0.33%增长至2025年的约2.98%；公司位居行业全球第十七位，是全球前十八大厂商中唯二的境内企业。华卓精科在静电卡盘多个细分领域内填补了我国高端静电卡盘的国产空白，例如，公司的刻蚀静电卡盘最终应用于存储芯片制程，已批量交付北方华创、中微公司等客户并应用于其12英寸刻蚀设备。

在晶圆键合设备行业，华卓精科国内市占率由2023年的约1.38%增长至2025年的约4.43%；在全球晶圆键合设备厂商中位居第八位，是前十大厂商中唯一一家境内企业。