芯片法案试点生产线NanoIC启动，高“设备”含量的科创半导体ETF（588170）近3月规模增长42.96亿元

截至2026年2月10日 11:04，上证科创板半导体材料设备主题指数下跌0.31%。成分股方面涨跌互现，华峰测控领涨7.20%，兴福电子上涨5.36%，艾森股份上涨2.79%；神工股份领跌4.61%，耐科装备下跌4.02%，中科飞测下跌3.90%。科创半导体ETF（588170）下跌0.39%，最新报价1.77元。

截至2026年2月10日 11:06，中证半导体材料设备主题指数下跌0.65%。成分股方面涨跌互现，华峰测控领涨7.53%，艾森股份上涨2.79%，京仪装备上涨2.10%；神工股份领跌4.55%，矽电股份下跌4.18%，康强电子下跌4.13%。半导体设备ETF华夏（562590）下跌0.57%，最新报价1.91元。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手4.8%，成交3.88亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手2.2%，成交6048.06万元。

规模方面，科创半导体ETF近3月规模增长42.96亿元，实现显著增长，新增规模领先同类；半导体设备ETF华夏最新规模达27.59亿元。

资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流出6371.43万元。拉长时间看，近10个交易日内，合计“吸金”1.82亿元；半导体设备ETF华夏最新资金净流入382.94万元。拉长时间看，近21个交易日内有15日资金净流入，合计“吸金”12.69亿元，日均净流入达6042.88万元。

消息面上，欧盟委员会2月9日宣布，欧盟在比利时微电子研究中心（IMEC）启动了规模最大的芯片法案试点生产线NanoIC，该设施总投资达25亿欧元，其中欧盟拨款7亿欧元，各国及地区政府投资7亿欧元，其余资金由ASML等行业伙伴共同注资。作为欧洲首家部署最先进极紫外光刻设备的设施，NanoIC专注于2纳米以下工艺的芯片设计与制造。

国盛证券认为，根据SEMI数据，2026年全球半导体设备总销售额有望达1450亿美元。我们看到近期国内晶圆厂动作频出，我们认为相关动作彰显国内晶圆厂加大产能扩建意向，在区域政治影响下，本土设备厂有望受益于更强国产化趋势+加大扩产双重催化，2026年国产半导体设备公司将迎价值重估，需高度重视扩产核心设备（刻蚀、薄膜沉积等）及国产化率极低赛道（量检测、光刻机），新产线建设将为本土设备厂提供更多验证窗口，加速高端设备突破，此外，我们强调，从当前需求和扩产规划来看，国产设备厂订单持续性将进一步加强。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备（60%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产化替代领域，具备国产化率较低、国产化替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），指数中半导体设备（63%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。

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