设备占比较高的半导体设备ETF易方达(159558)近13日净流入近3亿元，阿斯麦称新一代EUV光刻机已具备量产条件

截至2026年2月27日 10:02，半导体设备ETF易方达(159558)盘中换手3.19%，成交1.66亿元。

截至2月26日，半导体设备ETF易方达(159558)最新规模达53.57亿元，创成立以来新高。

资金流入方面，半导体设备ETF易方达(159558)近13个交易日合计“吸金”2.85亿元。

消息面上，据报道，荷兰光刻设备制造商阿斯麦高管表示，公司新一代极紫外光刻机已准备就绪，芯片制造商可开始将其用于大规模生产。该设备单价约4亿美元，为初代EUV机型的两倍。阿斯麦首席技术官称，该设备已累计加工约50万片硅晶圆，停机时间极低，图案精度达到量产标准。

半导体设备国产化正深度嵌入AI算力全栈自主进程。华西证券指出，当前半导体板块驱动逻辑正由“自主可控”向“AI需求+业绩验证”切换，设备作为产业链上游卡脖子环节，在国产AI服务器放量、HBM扩产及先进封装（如CoWoS）产能爬坡过程中承担关键支撑角色；中芯国际2025Q4产能利用率已达95.7%，12英寸线接近满载，其资本开支连续两年维持在80亿美元以上，设备采购持续向国产龙头倾斜，验证设备环节在AI基建浪潮中的确定性成长路径。

相关标的：半导体设备ETF易方达（159558，A/C：021893/021894），紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

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