中科飞测科创板上市：研发实力助力公司业绩持续提升

5月19日，深圳中科飞测科技股份有限公司(股票简称：中科飞测，股票代码：688361.SH)成功在上交所科创板上市。

根据招股书信息，中科飞测是一家国内领先的高端半导体质量控制设备公司，自成立以来始终专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。此次募集资金主要用于高端半导体质量控制设备产业化项目、研发中心升级建设项目以及补充流动资金，上市后将进一步提升公司竞争力。

深耕半导体质量控制设备多年，坚持自主研发构筑竞争优势

半导体质量控制可广义表达为检测，检测环节贯穿于集成电路领域生产全流程，是保证芯片生产良品率的关键措施。根据检测类型的不同，半导体质量控制设备也可分为检测设备和量测设备，其生产技术涉及光学、算法、软件、机电自动化控制等多学科、多领域知识的综合运用，对设备制造企业的技术研发实力和跨领域技术资源整合能力有很高的要求。

目前我国半导体质量控制设备领域基本由国外厂商垄断，科磊半导体、应用材料和日立作为前三大厂商，合计市场占有份额超过70%，市场呈现国外设备企业高度垄断的竞争格局。

近年来，全球供应链的紧张和国际贸易摩擦对国内集成电路产业的发展产生了重大影响，国内部分半导体厂商为降低供应链风险，同时有效缩短供应周期与减少对关键供应商的依赖，开始逐步重视供应链国产化的推动及本土供应商培养。

在这其中，中科飞测作为本土半导体质量控制设备领域的先行者，已在行业内深耕多年。

自成立以来，中科飞测培养和吸引了一大批经验丰富的光学、算法、软件、机电自动化等方面的人才，构成公司研发的中坚力量。截至2022年末，公司研发团队共有324人，占公司总员工人数的43.03%，已构筑起跨专业、多层次的人才队伍。

2020至2022年，公司研发费用分别为4,617.16万元、9,503.90万元、20,575.18万元，研发费用率分别为19.43%、26.36%、40.40%。在半导体设备这一技术和资金密集的行业，优秀的研发团队以及持续增加的研发投入，推动了公司多项研发产业化以及多个关键技术项目取得积极进展。

在检测和量测设备的研发中，公司攻克了多项设备关键模块自主化开发难题。目前，公司已形成深紫外成像扫描技术、高精度多模式干涉量测技术、基于参考区域对比的缺陷识别算法技术等9项核心技术，并将其成功应用于公司各系列产品。截至2023年4月，公司拥有专利353项，在行业竞争中技术优势显著。

公司的三维形貌量测设备和无图形晶圆缺陷检测设备分别在2020年和2021年获得中国集成电路创新联盟颁发的“IC创新奖”技术创新奖，公司产品成功应用于国内28nm及以上制程集成电路制造产线，并获评中芯天津2020年“最佳供应商”称号。

早在2017年，公司就已通过国家高新技术企业认定。自成立至今，凭借较强的研发实力，公司牵头承担了多个国家级、省级、市级重点专项研发任务，参与了《智能制造机器视觉在线检测系统通用要求》（GB/T 40659-2021）国家标准的起草制定，不断助力国内集成电路产业领域关键产品和技术的攻关与突破，同时也进一步巩固并提升了公司的竞争优势。

产品已广泛应用于国内主流集成电路制造产线，市场占有率持续提升

依托于公司掌握的核心技术，公司在半导体质量控制设备灵敏度/重复性精度、吞吐量、功能性等关键的性能指标上实现了持续提高和突破，使得公司产品整体上可以与国际竞品相媲美，满足了客户持续提升产品良率和降低成本等方面的需求。

检测和量测技术的稳定性与先进性至关重要，新设备往往需要经过下游客户较长时间的技术验证。凭借产品在性价比、交付周期、售后服务等方面较国外竞品拥有的相对竞争优势，公司设备陆续进入中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等集成电路前道制程及先进封装知名客户；在精密加工领域，亦进入了蓝思科技等知名厂商，打破了国际设备厂商在质量控制设备领域对国内市场长期垄断之局面。

经过在行业内的多年深耕，公司积累了优质的客户资源和良好的品牌知名度，公司业务规模持续扩大，在中国本土企业中市场占有率相对较高。

同时，根据模拟测算，中科飞测市场占有率增长较为迅速，由2018年度的0.35%增长至2020年度的1.74%。在我国半导体量测检测设备国产化率相对较低的情况下，中科飞测作为国内半导体设备行业领军企业之一，在中国大陆半导体检测和量测设备市场具有相对高的竞争优势。

国内半导体产业持续发展，带动公司半导体质量控制设备需求持续增长

物联网、5G通信、汽车电子等新型应用市场的不断发展产生了巨大的半导体产品需求，推动半导体行业进入新一轮的发展周期。晶圆厂在中科飞测关键工艺节点上成功取得量产，多家国内领先的半导体制造企业进入产能扩张期，都为国内半导体设备企业的技术能力提升和产业规模的扩大提供了源动力。

受益于中国集成电路行业的快速发展，中国已经成为全球最大的半导体检测与量测设备市场。根据VLSI Research的统计，2016年至2020年中国大陆半导体检测与量测设备市场规模的年均复合增长率为31.6%，其中2020年中国大陆半导体检测与量测设备的市场规模为21.0亿美元，同比增长24.3%。

而在国际贸易摩擦背景下，供应链安全需求为本土半导体检测设备供应商带来发展机遇。为提高我国半导体设备行业的国产化率，国家及各级政府出台了一系列支扶政策，但目前我国半导体设备行业的国产化率仍处于较低水平。经过多年发展，我国半导体设备企业在部分细分领域已取得突破，相关产品已被部分半导体制造企业所采用，未来国内半导体设备厂商的市场份额有较大提升空间，中科飞测也同样会因此受益。

此外，集成电路制造过程的步骤繁多，工艺极其复杂，仅在集成电路前道制程中就有数百道工序。目前，主流半导体制程正从28nm、14nm向10nm、7nm发展，根据YOLE的统计，工艺节点每缩减一代，工艺中产生的致命缺陷数量会增加50%，因此，制造过程中对工艺窗口的挑战要求几乎“零缺陷”。随着制程越来越先进、工艺环节不断增加，行业发展对工艺控制水平提出了更高的要求，制造过程中检测设备与量测设备的需求量将倍增。

受益于国内半导体产业的不断发展、国产化率需求提升、以及集成电路工艺环节增加带来的检测设备与量测设备需求量倍增，公司作为国内半导体质量控制设备领域领军企业，业绩有望进一步增长。2020-2022年，公司营业收入分别为23,758.77万元、36,055.34万元及50,923.53万元，复合增长率达到46.40%。

公司本次募集资金主要投向高端半导体质量控制设备产业化项目、研发中心升级建设项目等。

本次募投项目成功实施，将会进一步扩大公司产能，提升公司整体技术研发效率和新产品产业化能力，从而稳定快速地满足市场需求，同时，也有助于公司抓住国内半导体产业高速发展的市场机遇。