中国光刻机研发：‘1+5’协同模式下的技术突破与上市公司

我国光刻机研发工作在“02专项计划”的推动下，采用了类似“Out House”的协同研发模式，即上海微电子作为整机设计与集成的核心，同时联合五家专注于不同核心零部件研发的企业，共同推进光刻机技术的国产化进程。

以下是对这六家公司及其背后上市公司的详细梳理：

一、上海微电子

• 核心职责：负责光刻机的整机设计与集成。

• 技术实力：已实现90nm芯片量产，正在攻克28nm光刻机技术。

• 上市公司关联：

• 张江高科（SH:600895）：通过全资子公司持有上海微电子10.779%股权，为第四大股东。

• 上海电气（未直接提及股票代码，但母公司上海电气控股集团有限公司为上海微电子第一大股东）。

二、北京科益虹源

• 核心职责：负责光刻机光源系统的研发。

• 技术实力：拥有准分子激光技术研究与开发能力。

• 上市公司关联：

• 麦克奥迪（SZ:300341）：北京亦庄国际投资发展有限公司是麦克奥迪的控股股东，而北京科益虹源是北京亦庄旗下的公司，市场预期存在重组可能性。

• 间接关联奥普光电（SZ:002338），因其实际控制人为中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，与北京科益虹源有技术联系。

三、北京国望光学

• 核心职责：负责光刻机物镜系统的研发。

• 技术实力：专注于高端镜头、光电仪器与装备等。

• 上市公司关联：

• 麦克奥迪（SZ:300341）：同上，北京亦庄是其控股股东，而北京国望光学也是北京亦庄旗下的公司。

• 奥普光电（SZ:002338）：同上，因实际控制人相同而间接关联。

四、长春国科精密

• 核心职责：负责光刻机曝光光学系统的研发。

• 技术实力：承担多种类型高端IC制造投影光刻机曝光光学系统的技术研发及产业化推进。

• 上市公司关联：

• 麦克奥迪（SZ:300341）：作为北京亦庄的控股上市公司，市场预期长春国科精密可能与其进行重组。

• 奥普光电（SZ:002338）：同上，间接关联。

五、北京华卓精科

• 核心职责：负责光刻机双工件台等关键零部件的研发。

• 技术实力：产品包括光刻机双工件台、超精密运动平台等。

• 上市情况：科创板IPO申请已受理但已中止。

• 上市公司关联：目前无直接提及与上市公司的关联，但未来若IPO成功或重组，可能会与相关行业上市公司产生联系。

总结

我国光刻机研发工作在“02专项计划”的推动下，通过“1+5”的协同研发模式，取得了显著进展。这六家公司在各自领域的技术实力和研发成果，为我国光刻机技术的国产化奠定了坚实基础。同时，它们与上市公司之间的关联也为市场带来了投资预期和重组可能性。